電気炉A使用停止のお知らせ
トラブル:電磁弁の不具合により窒素が流れない。
対応:メーカへ部品交換を依頼
停止期間:8月2日部品交換作業追記:(8/2)修理作業が終わりました。
利用を再開しました。Stop using Precision Diffusion Furnace A
Troubling:Nitrogen does not flow from solenoid valve failure .
Corresponding: Ask the manufacturer to replace parts.
Stop period: It’s being investigated.Postscript:Repair work is over(8/2)