汎用真空蒸着装置使用停止のおしらせ
トラブル:メインバルブでリークが発生している
対応:業者に対応を問い合わせ中
停止期間:未定Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)
Main valve leaking.
Corresponding: contacting the manufacturer.
Stop period: undecided.
Reserch Institute of Electronics Clean Room
汎用真空蒸着装置使用停止のおしらせ
トラブル:メインバルブでリークが発生している
対応:業者に対応を問い合わせ中
停止期間:未定
Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)
Main valve leaking.
Corresponding: contacting the manufacturer.
Stop period: undecided.