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  • 汎用真空蒸着装置復旧及び操作方法一部変更のお知らせ

    メインバルブリークについて、復旧が終了しました。
    それに関連してメインバルブ操作方法を変更しました。
    詳細は下記のページの8.サンプルのとりだし⓵を確認してください。

    https://wwp.shizuoka.ac.jp/rie-cleanroom/wp-content/uploads/sites/31/2021/10/manual_vacuumdeposition_iperc.pdf　　　　　　　　

  •  Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) restoration and partial change of operation procedure

    The main valve leak has been fixed.
    The main valve operation method has been changed to reflect this.
    Please refer to the following page for details: 8.

    https://wwp.shizuoka.ac.jp/rie-cleanroom/wp-content/uploads/sites/31/2021/10/manual_vacuumdeposition_iperc.pdf