電子描画装置利用停止のお知らせ(12/24 11:00~ 12/25)
レーザーヘッド(XY測長用)交換作業を実施するため、
下記の日時で電子線描画装置の利用を停止いたします。停止期間：12月24日(火)11:00-10月25日(水)
Stop using Electron Beam Lithography System(12/24 11:00- 12/25)
Due to maintenance work, Electron Beam Lithography System will be unavailable on the following dates and times.
Date: Tuesday, December 24 11:00~ Wednesday, December 25