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  • ECRスパッタ装置使用停止のお知らせ

    トラブル：ビーム出しが行えない

    対応：問い合わせ中
    再開予定：９月上旬

  • Stop using Solid Source ECR Plasma Deposition System

    Troubling:No beam is generated.

    Corresponding: Under inquiry.
    Scheduled to resume: Early September.