電子線描画装置利用再開のおしらせ
電子線描画装置のメンテナンス作業が9/19(金)に終了したため、
今週より利用を再開いたします。Notice of Service Resumption of electron Beam Lithography System
Maintenance work on electron Beam Lithography System was completed on Friday 19 September.
Use of the apparatus will resume from this week.