316室蒸着装置のメンテナンス作業の結果、真空度が2時間で6.0×10^-4[Pa]まで到達するようになりました。
トラブル発生前の真空度まで回復しませんでしたが、装置の使用に支障はないと判断されます。
蒸着装置の使用再開をお知らせいたします。

また、現在DPのON/OFFランプの電球が切れてしまい、新しいものを発注中です。
ランプは点灯しませんが、DPは正常に稼働します。

DPのON/OFFランプ交換しました。2016/09/16