現在316室の蒸着装置はメンテナンス中のため使用できません。
メンテナンスが終了し次第お知らせします。
よろしくお願いします。

日にち：12月5日(月)~
内容　：真空ポンプ内オイルの交換
　　　　真空引きテスト

【12/7追記】
メンテナンス終了しました。
316室の蒸着装置は正常に使用できます。