アライナ利用者の皆様

 アライナ復旧のお知らせ

　アライナのメンテナンス作業を6月30日（木）午前中に行いました。　これにより、アライナで不具合が発生していた、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構が復旧しました。　これにより、マスクとサンプルのアライメント操作が行えるように復旧しました。 

不具合の原因としては、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構を構成しているネジが外れたため、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構が機能していない状態でした。

上記で不明な点は、水野までお問い合わせ願います。　よろしくお願い致します。