316室蒸着装置、使用停止のお知らせ

　316室の蒸着装置ですが、トラブルが発生したため現在使用出来ません。　トラブル内容は、操作ミスによる拡散ポンプのオイルの劣化です。

メンテナンスとして、拡散ポンプオイルとロータリーポンプオイルの交換を行いました。　しかし、チャンバーの真空度が２×１０-3[Pa]以下にならない状況でした。

これに対応するため、先日(7/27)拡散ポンプ内の洗浄作業（オイル焦げ付きの研磨）を行いました。　　現在(7/28)、このメンテナンス作業の結果を見るために、真空引き中です。

現在蒸着装置が使用不能のため、皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、鋭意作業中ですのでご容赦願います。