クリーンルーム利用者の皆様へ

平成28年11月22日

電研クリーンルーム
水野・清水

電子描画装置定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ

電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。　電子工学研究所316室の電子描画装置は、定期メンテナンスを行うため下記のように使用出来ません。

　皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　描画装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

　　　                                        記

１　停止期間：　平成29年2月13日(月)　～　2月24日(金)

２　作業内容：　電子銃交換

イオンポンプ１交換
ロータリーポンプオーバーホール
各種パーツ交換
その他作業

以上

316室の段差計(アルファステップ)は故障により使用できません。
解決し次第お知らせいたします。

【11/7追記】
スタイラス(針)を交換しても装置が回復せず、業者に修理を依頼することになりました。
現在修理の見積もりを依頼している段階です。
進展があり次第お知らせいたします。

【11/10追記】
本日修理の見積もりが届きました。
現在修理の日程を調整している段階です。
進展があり次第お知らせいたします。

【11/14追記】
修理の日程が決まりました。
11/15(火)午後にアルファステップの修理を行います。
装置が使用できるようになりましたら再度お知らせいたします。

【11/15追記】
装置の修理が完了しました。
段差計(アルファステップ)は使用可能です。
利用者の皆様にはご迷惑をおかけしました。

クリーンルーム内のドラフトの定期点検があります。
日にち：11月2日(水)
時間　：9:00~10:00(予定)

点検中以下の装置は使用できません。
・ドラフト(3台)
・電気炉
・RIE
・スピンコーター