クリーンルーム利用者の皆様へ

平成29年2月3日

電研クリーンルーム
水野・清水

FE-SEMトラブルによる停止期間のお知らせ

　電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。　電子工学研究所314室のFE-SEM(電子顕微鏡)ですが、サンプルの導入・搬出作業時に大気導入による停止が頻発しています。　　　ここ一週間の間に十数回の大気導入による停止が発生し、ここ数日は、ベテラン利用者も同様のトラブルを発生させています。　この状態は、操作ミスよりも装置に起因するトラブルの可能性が高いため、装置の真空ポンプ系保護のために、FE-SEMを利用停止とします。　なお、2月6日（月）～2月9日（木）に定期メンテナンスを行いますので、この定期メンテナンスで通常状態に復帰する予定です。

皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　FE-SEMを利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

記

１　停止期間：　平成29年2月3日(金)　～　2月9日(木)

２　内　　容：　FE-SEM真空ポンプ系保護のための利用停止　(2/3～2/5)

JSM-7600F型走査電子顕微鏡再調整　(2/6～2/9)

以上

【2/9追記】
2月9日（木）16:30　メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使用できます。