クリーンルーム利用者の皆様へ

平成29年2月3日

電研クリーンルーム
水野・清水

電研棟窒素ガス点検による、装置停止期間のお知らせ

　電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。　電研棟では共通窒素ガス配管の定期点検のため、2月27日（月）～3月1日（水）の期間、共通窒素ガス配管からの窒素ガスが利用できません。　このため電研クリーンルームで、共通窒素ガスを利用している下記の装置は装置利用停止とします。

皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。関係する装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

記

１　停止期間：　平成29年2月27日(月)　～　3月1日(水)

２　停止装置：　314室（FE-SEM　電気炉A・B・C・D　アライナ　スピンコーター　エアガン）

316室（電子描画装置）

以上