平成29年5月22日

クリーンルーム利用者の皆様

クリーンルーム管理室

スピンコーター（DELTA80T）使用出来ます(5/22)

ズース・マイクロテック社製のスピンコータ（DELTA80T）は、装置立上げ時にエラーメッセージ「Error from controller 47 Error lowering chuck」が発生していましたが、正常に起動出来るようになりました。

2017/5/17

To everybody of the clean room user.

Clean room management office

A spin coater (DELTA80T) can be used.(5/22)

 Thank you.