• 電子描画装置使用停止のお知らせ

    トラブル:昨夜の瞬間停電によるビーム停止のため

    対応:電子ビームの再立ち上げを実行
    停止期間:7月24日16:00まで

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Troubling:Beam stop due to instantaneous blackouts last night.

    Corresponding: Execute re-launch of electron beam.
    Stop period: 7/23 ~16:00.