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  • 電子描画装置使用停止のお知らせ

    トラブル：電子銃の故障のため

    対応：問い合わせ中
    停止期間：未定

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Troubling:Electron gun failure.

    Corresponding: Under inquiry.
    Stop period: Undecided.