電子描画装置使用再開のお知らせ
7月末から故障のため停止していた電子描画装置が、
部品交換修理が終わり使用を再開しました。ご不便をお掛けいたしました。
Resume use Beam Lithography System
Sorry for the inconvenience
Reserch Institute of Electronics Clean Room
電子描画装置使用再開のお知らせ
7月末から故障のため停止していた電子描画装置が、
部品交換修理が終わり使用を再開しました。
ご不便をお掛けいたしました。
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