• 汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ

    トラブル:ロータリーポンプのオイル逆流により真空引きが行えない

    対応:装置の洗浄及びオイル交換

    追記:10月9日 装置のメンテナンスが終了しました

     

  • Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)

    Troubling:Unable to vacuum due to pump oil backflow.

    Corresponding: Equipment cleaning and oil change.

    P.S. 10/9  Maintenance work finished.