汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ

トラブル：ロータリーポンプのオイル逆流により真空引きが行えない

対応：装置の洗浄及びオイル交換

追記：10月9日　装置のメンテナンスが終了しました

Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)

Troubling:Unable to vacuum due to pump oil backflow.

Corresponding: Equipment cleaning and oil change.

P.S.　10/9 　Maintenance work finished.