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  • 台風19号に伴う利用休止のお知らせ

    台風19号の影響により、下記の日程でクリーンルームの利用を休止させていただきます。

    期間　：2019年10月11日（金）17:00　～　2019年10月14日(月）8:30

    電子描画装置と走査電子顕微鏡については停電対応として装置の立ち下げを行うため、
    利用再開の日時は下記とさせていだきます。

    走査電子顕微鏡：2019年10月14日（月）12:00~
    電子描画装置　：2019年10月15日（火） 8:30~

  • About correspondence with typhoon 19

    A clean room can’t be used the following period about typhoon 19.

    A fixed date　:　 Friday,October 11, 17:00　 ～　Monday, October 13 8:30

    The resumption date for Scanning Electron Microscope(SEM) and Electron Beam Lithography System(EB)
    is as follows

    SEM: Monday ,October 14 12:00~
    EB : Tuesday,October 15 8:30~