電子描画装置メンテナンスのお知らせ

電子銃交換及びメンテナンスのため、
下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。

期間　：2020年2月4日(火)6:00　～　2月14日(金)17:00

Stop using Electron Beam Lithography System

For electron gun replacement and maintenance,
the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

A fixed date　:　 Tuesday,Feb 4, 6:00　 ～　Friday,Feb 14, 17:00