ECRスパッタ装置使用停止のお知らせ

ECRスパッタ装置部品交換作業のため、
下記の期間使用を停止させていただきます。

期間　：2020年3月2日（月）～　3月3日(火)

Stop using Solid Source ECR Plasma Deposition System

ECR be stopped for scrubber device parts replacement.

A fixed date　:　 Monday,March 2　～　Tuesday,March 3