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  • ECRスパッタ装置使用停止のお知らせ

    ECRスパッタ装置部品交換作業のため、
    下記の期間使用を停止させていただきます。

    期間　：2020年3月2日（月）～　3月3日(火)

  • Stop using Solid Source ECR Plasma Deposition System

    ECR be stopped for scrubber device parts replacement.

    A fixed date　:　 Monday,March 2　～　Tuesday,March 3