電子線描画装置、ドラフト使用停止のお知らせ

手元開閉器(ブレイカー)取替工事のため、
下記の日程で装置の使用を停止させていただきます。

当日は工事の影響で粉塵が発生する可能性があります。
予めご了承ください。

・電子線描画装置 　11月11日(水) 9:00 ～ 11月12日(木) 15:00

　　　　 酸ドラフト
・アルカリドラフト 11月11日(水)　9:00 ～ 15:00
　　超純水精製装置

追記(11/11)　工事が終了しました。

ドラフト、超純水は午後から利用できます。

電子線描画装置は11月12(木)10:00から利用可能になります。

Stop using　EB Lithography System, Fume Hood(Acid, Alkali), Ultrapure Water Production System

Stop using the above equipment
for the replacement work of　available electrical switch (circuit breaker).

There is a possibility that dust may be generated on the day of the event due to construction.
I appreciate your understanding.

Date　:　 EB Lithography System Wednesday, November 11, 9:00 ～ Thursday, November 12 15:00

Fume Hood(Acid, Alkali) Wednesday, November 11, 9:00 ～ 15:00
Ultrapure Water Production System