• 電子線描画装置、ドラフト使用停止のお知らせ

    手元開閉器(ブレイカー)取替工事のため、
    下記の日程で装置の使用を停止させていただきます。

    当日は工事の影響で粉塵が発生する可能性があります。
    予めご了承ください。

    ・電子線描画装置  11月11日(水) 9:00 ~ 11月12日(木) 15:00

         酸ドラフト
    ・アルカリドラフト 11月11日(水) 9:00 ~ 15:00
      超純水精製装置

    追記(11/11) 工事が終了しました。

    ドラフト、超純水は午後から利用できます。

    電子線描画装置は11月12(木)10:00から利用可能になります。

  • Stop using EB Lithography System, Fume Hood(Acid, Alkali), Ultrapure Water Production System

    Stop using the above equipment
    for the replacement work of available electrical switch (circuit breaker).

    There is a possibility that dust may be generated on the day of the event due to construction.
    I appreciate your understanding.

    Date :  EB Lithography System Wednesday, November 11, 9:00 ~ Thursday, November 12 15:00

    Fume Hood(Acid, Alkali) Wednesday, November 11, 9:00 ~ 15:00
    Ultrapure Water Production System