汎用真空蒸着装置使用停止のおしらせ
トラブル:真空度が上がらない
対応:ロータリー、油拡散ポンプの点検
停止期間:来週復旧予定Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)
Corresponding: The vacuum does not increase.
Stop period: Scheduled to be restored next week
Reserch Institute of Electronics Clean Room
汎用真空蒸着装置使用停止のおしらせ
トラブル:真空度が上がらない
対応:ロータリー、油拡散ポンプの点検
停止期間:来週復旧予定
Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)
Corresponding: The vacuum does not increase.
Stop period: Scheduled to be restored next week