汎用真空蒸着装置使用再開のおしらせ

拡散ポンプの洗浄及びオイル交換の実行。
真空引きが行えることを確認しました。

汎用真空蒸着装置の利用を再開します。

Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)restoration

Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)has been repaired.