電子線描画装置使用停止のおしらせ

トラブル：冷却装置の異常及び真空度の低下

対応：メーカーに問い合わせ中
停止期間：未定

6/22追記：冷却装置の交換作業を検討しております。
　　　　　先ずは代替機の用意をメーカーに依頼する予定です。

Stop using Electron Beam Lithography System

Corresponding: Cooling system malfunction and　decrease in vacuum
Stop period: undecided