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  • 汎用真空蒸着装置一時使用再開のおしらせ

    メインバルブリークの件は引き続きメーカーと対応中ですが、
    操作方法を変更して利用を再開いたします。

    利用を希望される方は必ずクリーンルーム管理室まで連絡をお願いいたします。

    8/17追記：膜厚計が操作できない不具合が発生しています。
    　　　　　現在メーカーへ対応中です。

    8/18追記：膜厚計の不具合は解消いたしました。
    　　　　　　　　

  •  Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)　preliminary restoration

    We’re still working with the manufacturer on the main valve leak.
    However, we have changed the operation method and will resume use.

    If you wish to use the device, please contact the Clean Room Management Office.

    8/17 P.S. There is a problem with the coating thickness gauge.