電子線描画装置使用停止のおしらせ

冷却チラーの交換を行うため、
電子線描画装置の利用を停止させていただきます。

停止期間：8月23日(月) 9:00～8月24日(火)12:00

Stop using Electron Beam Lithography System

Stop using Electron Beam Lithography System　for cooling chiller replacement.

Date　:　 Monday, Aug 23, 9:00 ～Tuesday, Aug 24 12:00