電子線描画装置使用停止のお知らせ(1/23-)
トラブル:JOB3ウィンドウが開かない
対応:メーカーとの対応中
停止期間:未定(1/27現在)Stop using Electron Beam Lithography System(1/23-)
JOB3 does not launch.
Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided
Reserch Institute of Electronics Clean Room
電子線描画装置使用停止のお知らせ(1/23-)
トラブル:JOB3ウィンドウが開かない
対応:メーカーとの対応中
停止期間:未定(1/27現在)
Stop using Electron Beam Lithography System(1/23-)
JOB3 does not launch.
Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided