電子線描画装置使用停止のお知らせ(1/23-)

トラブル：JOB3ウィンドウが開かない

対応：メーカーとの対応中
停止期間：未定(1/27現在)

Stop using Electron Beam Lithography System(1/23-)

JOB3 does not launch.

Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided