フッ素RIE一部利用停止のお知らせ(4/10-)

石英リングの破損のため、下記の利用を停止いたします。

・カーボントレイ、石英リングを使用したエッチング(SiO2,SiNxエッチング)

停止期間：未定

Stop using parallel plate RIE System(4/10-)

Due to the breakage of quartz rings, we will stop using the following

Etching (SiO2,SiNx etching) using carbon trays and quartz ring

A fixed date:undecided