• 電子描画装置利用停止のお知らせ

    トラブル内容:電子銃の加速電圧が立ち上がらない

    対応:メーカーと対応中
    停止期間:未定

    7/10(水)追記:7/18(木)メーカーの点検作業予定

    7/25(木)追記:原因が高圧タンクの故障と判断
           引き取り修理のためタンクを郵送して対応依頼中

    9/25(水)追記:9/25(水)-9/27(金)に高圧タンク修理作業を実施
           作業後、動作に問題なければ利用再開となります

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer
    Stop period: undecided