電子線描画装置利用再開のおしらせ

電子線描画装置の復旧が終了しました。
利用を再開いたします。

大変長らくお待たせしてしまい申し訳ございません。
どうぞご了承いただけますようお願い申し上げます。

electron Beam Lithography System　restoration

The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
Use of the system will be resumed.