平成29年3月8日

クリーンルーム利用者の皆様へ

クリーンルーム管理室
水野・清水

超純水使用停止(3/13AMのみ)、メンテナンスのお知らせ

　　超純水の定期メンテナンスを行います。　定期メンテナンス作業中は、電研クリーンルームで超純水は利用出来ません。　皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　なお、不明な点はクリーンルーム管理室に、お問い合わせをお願い致します。

記

日　　時：平成29年3月13日(月)　9：00～13：30（4時間程度）
停止装置：超純水装置（UVランプ交換 UFフィルタ交換 調整作業）
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）

以上