by

  • 大型連休中(5/3～5/7)の装置使用について

    連休中は職員不在のため電研共通窒素ラインのボンベ交換ができず、窒素ガスが不足しても対処できません。
    そこで、窒素を大量に消費する以下の装置の使用を禁止します。

    ・電気炉
    ・アライナ

    また、動作に窒素ガスを必要とする以下の装置に関しては、急を要する作業以外は極力使用を控えてください。

    ・ECRスパッタ
    ・SEM
    ・電子ビーム描画装置
    ・窒素ガン

  • About suspended use of some devices during Golden Week (5/3～5/7)

    During the holidays, the use of the following devices is prohibited.

    ・Electric Furnace
    ・Mask Aligner

    Also, refrain from using the following devices unless absolutely necessary.

    ・ECR Sputter
    ・SEM
    ・Electron Beam Lithography System
    ・Nitrogen gun