• 先週末の台風の影響で描画装置の一部機能が停止してしまいました。
    復旧作業には2日ほどかかります。
    復旧作業が終了しましたら、改めてお知らせいたします。
    【8/2追記】
    復旧作業は終了しました。
  • Due to the typhoon of the last weekend, some functions of the Lithography System stopped.
    It will take about 2 days for recovery work.
    We will inform you again once the restoration work is over.
    【Add on 8/2】
    Restoration work is over.