電子描画装置使用停止のお知らせ
トラブル：昨夜の瞬間停電によるビーム停止のため
対応：電子ビームの再立ち上げを実行
停止期間：7月24日16:00までStop using Electron Beam Lithography System
Troubling:Beam stop due to instantaneous blackouts last night.
Corresponding: Execute re-launch of electron beam.
Stop period: 7/23 ～16:00.