ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ
ECRスパッタ装置のメンテナンスが終了しました。
利用を再開させていただきます。
Resuming use of Source ECR Plasma Deposition SystemMaintenance of ECR has ended.
Reserch Institute of Electronics Clean Room
ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ
ECRスパッタ装置のメンテナンスが終了しました。
利用を再開させていただきます。
Resuming use of Source ECR Plasma Deposition System
Maintenance of ECR has ended.