電子線描画装置、ドラフト使用停止のお知らせ
手元開閉器(ブレイカー)取替工事のため、
下記の日程で装置の使用を停止させていただきます。当日は工事の影響で粉塵が発生する可能性があります。
予めご了承ください。・電子線描画装置 11月11日(水) 9:00 ～ 11月12日(木) 15:00
酸ドラフト
・アルカリドラフト 11月11日(水) 9:00 ～ 15:00
超純水精製装置追記(11/11) 工事が終了しました。
ドラフト、超純水は午後から利用できます。
電子線描画装置は11月12(木)10:00から利用可能になります。
Stop using EB Lithography System, Fume Hood(Acid, Alkali), Ultrapure Water Production System
Stop using the above equipment
for the replacement work of available electrical switch (circuit breaker).There is a possibility that dust may be generated on the day of the event due to construction.
I appreciate your understanding.Date : EB Lithography System Wednesday, November 11, 9:00 ～ Thursday, November 12 15:00
Fume Hood(Acid, Alkali) Wednesday, November 11, 9:00 ～ 15:00
Ultrapure Water Production System