• 電子線描画装置使用停止のお知らせ(1/23-)

    トラブル:JOB3ウィンドウが開かない

    対応:メーカーとの対応中
    停止期間:未定(1/27現在)

  • Stop using Electron Beam Lithography System(1/23-)

    JOB3 does not launch.

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer
    Stop period: undecided