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  • フッ素RIE一部利用停止のお知らせ(4/10-)

    石英リングの破損のため、下記の利用を停止いたします。

    ・カーボントレイ、石英リングを使用したエッチング(SiO2,SiNxエッチング)

    停止期間：未定

  • Stop using parallel plate RIE System(4/10-)

    Due to the breakage of quartz rings, we will stop using the following

    Etching (SiO2,SiNx etching) using carbon trays and quartz ring

    A fixed date:undecided