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  • フッ素RIE利用再開と注意事項のお知らせ

    破損した石英リングの補修を行いました。
    一部欠けた状態ですがご利用いただけます。
    取り扱いにはご注意ください。

    必要に応じて、事前にエッチングレートの確認をお願いします。


  • Notice of Resumption of Fluorine RIE Use and Precautions

    The damaged quartz ring has been repaired.
    It is partially chipped but can be used.
    Please handle with care.

    If necessary, please check etching rate in advance.