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  • 電子描画装置メンテナンスのお知らせ

    電子銃交換及びメンテナンスのため、
    下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。
    ご連絡が直前になり大変申し訳ありません。

    期間　：2023年2月26日(月)8:00　～　3月8日(金)17:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    For electron gun replacement and maintenance,
    the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

    A fixed date　:　 Monday, February 20, 8:00　 ～　Friday, March 8, 17:00