電子描画装置利用停止のお知らせ
トラブル内容:電子銃の加速電圧が立ち上がらない
対応:メーカーと対応中
停止期間:未定7/10(水)追記:7/18(木)メーカーの点検作業予定
7/25(木)追記:原因が高圧タンクの故障と判断
引き取り修理のためタンクを郵送して対応依頼中9/25(水)追記:9/25(水)-9/27(金)に高圧タンク修理作業を実施
作業後、動作に問題なければ利用再開となりますStop using Electron Beam Lithography System
Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided