by

  • 電子描画装置利用停止のお知らせ

    トラブル内容：不具合により電子銃が立ち上がらない

    対応：メーカーと対応中
    停止期間：未定

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer
    Stop period: undecided