クリーンルーム利用者の皆様へ

平成28年11月22日

電研クリーンルーム
水野・清水

電子描画装置定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ

電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。　電子工学研究所316室の電子描画装置は、定期メンテナンスを行うため下記のように使用出来ません。

　皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　描画装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

　　　                                        記

１　停止期間：　平成29年2月13日(月)　～　2月24日(金)

２　作業内容：　電子銃交換

イオンポンプ１交換
ロータリーポンプオーバーホール
各種パーツ交換
その他作業

以上