用力設備定期点検が当初の予定よりも早く終了したことに伴い、
クリーンルーム装置の利用再開日程を下記に変更いたします。

・クリーンルーム利用再開
　7月3日(月)8時～

・電子線描画装置
　7月4日(火)12時～

・ECRスパッタ装置、電子ビーム蒸着装置
　7月3日(月)装置立上げ予定

The periodic inspection of the power equipment has been completed earlier than originally scheduled,
The schedule for the resumption of clean room equipment use has been changed as follows.

Resumption of clean room equipment use
　Monday, July 3, from 8:00 a.m.

Reopening of the lithography equipment
　Tuesday, July 4, from 12:00 p.m.

ECR sputtering equipment and electron beam deposition equipment
　Equipment start-up scheduled for July 3 (Mon.)

段差計使用停止のおしらせ(7/5)

段差系のメンテナンス作業を行うため、
下記の日程で利用を停止いたします。

停止期間：7/5(水)9:00-18:00

6/30追記： メンテナンス作業の日程を延期します
　　　　　　日程については後日連絡いたします。

Stop using Surface Profilometry(7/5)

To perform maintenance work on Surface Profilometry,
The following schedule will be unavailable.

Stop period: July 5th 9:00-18:00

走査電子顕微鏡(SEM)使用停止のおしらせ(7/3-7/6)

走査電子顕微鏡(JSM-7600F)整備作業のため、
下記の日程で利用を停止いたします。

停止期間：7/3(月)-7/6(木)

7/7追記：整備作業中のトラブルのため、
　　　停止期間を-7/7(金)まで延長いたします。

Stop using Scanning Electron Microscope(7/3-7/6)

Due to maintenance work on the scanning electron microscope (JSM-7600F),
It will be stopped during the following period.

Stop period: July 3rd -July 6th

エリプソメーター使用停止のおしらせ(6/19)

エリプソメーターのレーザー管交換作業のため、
下記の日程で利用を停止いたします。

停止期間：6/19(月)9:00-18:00

Stop using Ellipsometer(6/19)

Stop period: June 19th 9:00-18:00

6月24日(土)と25日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
つきましては光創起棟CRは以下の日程で利用停止となります。

・6月23日(金)12時～
　クリーンルーム装置利用停止

・6月24日(土)～6月25日(日)
　一斉停電（定期点検）

・6月26日(月)～年6月30日(金)
　用力設備定期点検
　※クリーンルーム空調、圧縮空気、窒素ガス発生装置、冷却水 等を保守
　※各機器の停止期間は、１～２日を想定

・7月4日(火)12時～
　クリーンルーム装置利用再開

各装置の利用再開は7月4日（火）12時以降を予定しています。
ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため7月5日(水)以降に再開する予定です。
情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

On June 24th (Sat) and 25th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

・23　From 12 o’clock　Device use suspension
· 24 – 25th: Simultaneous blackout
· 26 – 30th: utility equipment maintenance inspection
・July　4th　From 12 o’clock　Device usage resume

Resumption of use of each device is planned after inspection on July 4.
However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the July 5.
We will inform you again when there is an update of information.

フッ素RIE利用再開と注意事項のお知らせ

破損した石英リングの補修を行いました。
一部欠けた状態ですがご利用いただけます。
取り扱いにはご注意ください。

必要に応じて、事前にエッチングレートの確認をお願いします。

Notice of Resumption of Fluorine RIE Use and Precautions

The damaged quartz ring has been repaired.
It is partially chipped but can be used.
Please handle with care.

If necessary, please check etching rate in advance.

フッ素RIE一部利用停止のお知らせ(4/10-)

石英リングの破損のため、下記の利用を停止いたします。

・カーボントレイ、石英リングを使用したエッチング(SiO2,SiNxエッチング)

停止期間：未定

Stop using parallel plate RIE System(4/10-)

Due to the breakage of quartz rings, we will stop using the following

Etching (SiO2,SiNx etching) using carbon trays and quartz ring

A fixed date:undecided

酸ドラフト利用再開のお知らせ

酸ドラフト(CYV-180VZ)の屋上排風機修理作業が終了しました。
利用を再開いたします。

Fume Hood for acid restoration　

The restoration of Fume Hood for acid has been completed.
Use of the system will be resumed.

酸ドラフト使用停止のお知らせ(3/22午後)

酸ドラフト(CYV-180VZ)の屋上排風機修理作業のため、
下記の日程で使用を停止いたします。

停止期間：3月22日12:00～作業終了まで

3/22追記：修理作業の予定変更のため、停止期間を下記とさせていただきます。
　　　　　
停止期間：3月22日9:00～作業終了まで

Stop using Fume Hood for acid(3/22 12:00-)

Due to repair work on the rooftop exhaust fan of the Acid Draft (CYV-180VZ)
It will be stopped during the following period.

A fixed date :March 22, from 12:00 to the end of the work

電子描画装置メンテナンスのお知らせ

電子銃交換及びメンテナンスのため、
下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。

期間　：2023年3月20日(月)8:00　～　3月31日(金)17:00

Stop using Electron Beam Lithography System

For electron gun replacement and maintenance,
the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

A fixed date　:　 Monday, March 20, 8:00　 ～　Friday, March 31, 17:00