現在ウェッジワイヤーボンダは故障により使用できません。
修理が完了し次第お知らせします。

故障日　：12月6日(火)
故障内容：ワイヤーのボビンを回転させるためのOリングが切れました。

【修理進捗】
12/7 新しいOリングを発注しました。
12/8 新しいOリングが届きました。
12/8 新しいOリングを取り付けました。
　　　ワイヤーはクランパーまで通してあります。
　　　ウェッジに通してからご使用ください。
12/9 ワイヤーをウェッジまで通しました。
　　　ウェッジワイヤーボンダは正常に使えます。

現在316室の蒸着装置はメンテナンス中のため使用できません。
メンテナンスが終了し次第お知らせします。
よろしくお願いします。

日にち：12月5日(月)~
内容　：真空ポンプ内オイルの交換
　　　　真空引きテスト

【12/7追記】
メンテナンス終了しました。
316室の蒸着装置は正常に使用できます。

電子工学研究所の漏水点検に伴い、以下の日程で断水が発生する可能性があります。
影響を受ける装置は「超純水製造システム」です。

日にち：12月3日(土)
時間　：終日(9:00~17:00)

電子工学研究所には受水槽があるので、受水槽内の水が無くなるまでは断水しません。

FE-SEMは以下の日時でメンテナンスを行います。
該当日に予約された方には1時間ほど使用を中止していただくお願いをすると思います。ご了承ください。

日にち：12月5日(月)～7日(水)のいずれか1日
時間　：日中(作業は1~2時間を予定しています。)
　　　　14:00～
内容　：PCのDVDドライブ交換作業

12月5日(月)15:00
メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使えます。

316室の段差計(アルファステップ)は故障により使用できません。
解決し次第お知らせいたします。

【11/7追記】
スタイラス(針)を交換しても装置が回復せず、業者に修理を依頼することになりました。
現在修理の見積もりを依頼している段階です。
進展があり次第お知らせいたします。

【11/10追記】
本日修理の見積もりが届きました。
現在修理の日程を調整している段階です。
進展があり次第お知らせいたします。

【11/14追記】
修理の日程が決まりました。
11/15(火)午後にアルファステップの修理を行います。
装置が使用できるようになりましたら再度お知らせいたします。

【11/15追記】
装置の修理が完了しました。
段差計(アルファステップ)は使用可能です。
利用者の皆様にはご迷惑をおかけしました。

クリーンルーム内のドラフトの定期点検があります。
日にち：11月2日(水)
時間　：9:00~10:00(予定)

点検中以下の装置は使用できません。
・ドラフト(3台)
・電気炉
・RIE
・スピンコーター

316室蒸着装置のメンテナンス作業の結果、真空度が2時間で6.0×10^-4[Pa]まで到達するようになりました。
トラブル発生前の真空度まで回復しませんでしたが、装置の使用に支障はないと判断されます。
蒸着装置の使用再開をお知らせいたします。

また、現在DPのON/OFFランプの電球が切れてしまい、新しいものを発注中です。
ランプは点灯しませんが、DPは正常に稼働します。

DPのON/OFFランプ交換しました。2016/09/16