【SEM】SEM停止中

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9/13 12:00
試料室への落下物を回収するため、一度真空を破りました。
試料室内の真空度が回復するまで使用禁止となります。
使用再開は9/14 8:00を予定しております。

9/14 8:00
SEM使用再開しました。

September 13, 12:00
We once broke the vacuum to recover the object that dropped into the sample chamber.
SEM is prohibited until the degree of vacuum in the sample chamber is restored.
We are planning to resume use at 8 o’clock on September 14.

September 14, 8:00
The use resumed.

【Notice】薬品放置時のお願い

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薬品放置時のお願い

薬品を放置するときは、以下の情報を容器に書いてください。

  • 薬品名
  • 研究室名
  • 氏名

全ての利用者が安全にクリーンルームを使用するためのルールです。
短時間・長時間に関わらず薬品放置時は必ず守るようお願いします。


Rules on Leaving Chemicals

When leaving chemicals, please write the following information in the container.

  • Chemical name
  • Your laboratory name
  • Your name

This is a rule for all users to be able to use clean room safely.
Please follow this rule regardless of the length of leaving time.


【SEM】SEM停止中

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SEM停止中

大気導入によりSEM停止中です。
再開見込みは13：30です。
再開見込みは15：30です。
（15：30）SEM使用再開しました。

SEM is disabled

SEM is disabled due to air introduction.
The resumption prospect is 13:30.
The resumption prospect is 15:30.
(15:30) SEM is enabled.

【Mask Aligner】アライナ使用できます（5/26追記）

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アライナ故障中
アライナ使用できます

UVランプの電源ユニットの故障により、アライナが使用できません。
使用再開のめどがたち次第報告します。
【5/26追記】
現在アライナは使用できます。
また不具合が発生したらすぐに職員までお知らせください。

Failure of Mask Aligner
Mask Aligner is available

Mask aligner can not be used due to breakdown of UV lamp power supply unit.
We will report as soon as we can resume usage.
【Add on May 26th】
Mask aligner is available now.
In case of trouble, please notify the staff.

【Notice】研究成果の収集にご協力ください

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研究成果の収集にご協力ください

電研クリーンルームを利用したことで得られた研究成果を収集しています。
論文投稿や学会発表をした際には是非こちらのフォームからご報告ください。
↓
【研究成果報告フォーム】
（ページ右下のアイコンからもフォームへ飛べます。）

収集した情報は
・ホームページへの掲載
・クリーンルーム新規利用者の獲得材料
等に利用させていただきます。
（もちろん掲載禁止などの指定もできます。）

ご協力お願い致します！

【Hydrofluoric Acid】フッ化水素酸の変更について

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フッ化水素酸の変更について

今まで使用してきた森田化学・半導体用フッ化水素酸50%が生産終了しました。
今後はほぼ同等の品である弘田化学・半導体用フッ化水素酸49%を使用します。
しばらくの間はこれらの変更による不具合等がないか注意しながら使用してください。


About change of hydrofluoric acid

Hydrofluoric acid which has been conventionally used is now the production end.
In the future we will use nearly equivalent hydrofluoric acid.
Please use it while paying attention to possibility of troubles due to these change for a while.


【Disabled】大型連休中(5/3～5/7)の装置使用について

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大型連休中(5/3～5/7)の装置使用について

連休中は職員不在のため電研共通窒素ラインのボンベ交換ができず、窒素ガスが不足しても対処できません。
そこで、窒素を大量に消費する以下の装置の使用を禁止します。

・電気炉
・アライナ

また、動作に窒素ガスを必要とする以下の装置に関しては、急を要する作業以外は極力使用を控えてください。

・ECRスパッタ
・SEM
・電子ビーム描画装置
・窒素ガン

About suspended use of some devices during Golden Week (5/3～5/7)

During the holidays, the use of the following devices is prohibited.

・Electric Furnace
・Mask Aligner

Also, refrain from using the following devices unless absolutely necessary.

・ECR Sputter
・SEM
・Electron Beam Lithography System
・Nitrogen gun

【Notice】個人の物品を持ち帰ってください。

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新年度が始まり、クリーンルームには新しい利用者が増えます。
初めてクリーンルームを使う人が困惑しないよう、共用の物品と個人の物品を区別しましょう。

***予告***
4/10
所有者不明のクリーン服を回収します。
クリーン服を放置している人はいったん持ち帰ってください。
4/17
イエロールーム内の現像用ビーカーに「共用」ラベルを貼りつけます。
個人のビーカー等があればはっきりと記名してください。

The new semester starts and the number of new users of the clean room increases.
Let’s distinguish between shared goods and individual goods to avoid confusion of new users.

***NOTICE***
4/10
Clean wear whose owner is unknown will be collected.
If you leave clean wear in the clean room, please take it to your lab. once.
4/17
Beakers for development in the yellow room will be affixed with a “Common Use” label.
Please write your lab. name clearly if there is an individual beaker etc.

【Notice】機器講習申し込みフォームの設置

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「初めて使う装置の操作方法が分からない…」
「先輩に操作方法を教わったけどなんだか不安…」
「何度も使っている装置のことをいまさら聞くのは…」

と感じているユーザーの皆様、
「装置」ページ下部に機器講習申し込みフォームを設置しました！
こちらにもリンクを貼っておきます。
【機器講習申し込みフォーム】

電研クリーンルーム内の機器講習を希望する方は申し込みフォームに記入し、送信ボタンを押してください。
記入していただいたアドレス宛に講習の日程調整のご連絡を差し上げます。
※職員の日程や機器の使用状況によって、返答や講習開催まで数日かかる場合がございます。あらかじめご了承ください。
※留学生のみでの受講はお断りする場合がございます。恐れ入りますが、日本語との通訳ができる方を同伴して参加していただきますようお願い申し上げます。