マスクアライナ利用停止のお知らせ(10/22(火)-10/24(木))

by Posted in 未分類

  • マスクアライナ利用停止のおしらせ(10/22-10/24)

    マスクアライナZ軸メンテナンス作業のため、
    下記の日時でマスクアライナの利用を停止いたします。

    停止期間：10月22日(火)-10月24(木)
    ※作業内容によって利用再開が早まる場合があります。

  • Stop using Mask Aligner(10/22-10/24)

    Due to maintenance work, the mask aligner will be unavailable on the following dates and times.

    Date: Tuesday, October 22~ Thursday, October 24

電子線描画装置利用再開のお知らせ

by Posted in 未分類

  • 電子線描画装置利用再開のおしらせ

    電子線描画装置の復旧が終了しました。
    利用を再開いたします。

    大変長らくお待たせしてしまい申し訳ございません。
    どうぞご了承いただけますようお願い申し上げます。

  • electron Beam Lithography System　restoration

    The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
    Use of the system will be resumed.

夏季一斉休業に伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/9(金)12:00-8/19(月)12:00)

by Posted in 未分類
  • 夏季一斉休業に伴い、光創起棟クリーンルーム空調が停止されます。
    つきましては下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    【停止期間】
    ・8月9日(金)12時～8月19日(月)12時
    　

  • Clean room air-conditioning will be stopped due to the summer holiday.
    Therefore, the clean room will be closed during the following period.

    Period of shutdown
    August 9 (Fri.) 12:00 – August 19 (Mon.) 12:00

電子描画装置利用停止のお知らせ(利用再開未定）※9/25(水)追記

by Posted in 未分類

  • 電子描画装置利用停止のお知らせ

    トラブル内容：電子銃の加速電圧が立ち上がらない

    対応：メーカーと対応中
    停止期間：未定

    7/10(水)追記：7/18(木)メーカーの点検作業予定

    7/25(木)追記：原因が高圧タンクの故障と判断
    　　　　　　　引き取り修理のためタンクを郵送して対応依頼中

    9/25(水)追記：9/25(水)-9/27(金)に高圧タンク修理作業を実施
    　　　　　　　作業後、動作に問題なければ利用再開となります

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer
    Stop period: undecided

冷却水系統停止による一部装置利用停止のお知らせ(7/3(水)9:00-17:00)

by Posted in 未分類

  • 冷却水系統の停止による一部装置利用停止のお知らせ

    6/28(金)から7/1(月)にかけて
    クリーンルーム天井からの漏水が確認されました。
    現在は応急処置を行ったため、装置の利用に問題ありません。

    原因である冷却水系統の補修工事を行うため、
    下記の日時では光創起棟の冷却水系統の供給が停止されます。
    そのため冷却水系統に接続している装置は下記の時間利用できません。

    停止期間：7月3日(水)9:00~17:00

    停止装置：卓上ランプ加熱装置、真空蒸着装置(Al専用、汎用)、フッ素RIE、ECR、恒温ブース(電子線描画装置用)
    　　　　　マグネトロンスパッタ装置

    ※電子線描画装置については恒温ブースのみが停止します
    　装置の利用には問題ありませんが、ご承知おきください。

    ご不便をおかけして申し訳ありませんが、
    ご理解いただけますようお願いいたします。

  • Stop using some instruments for Cooling water system construction

    From 6/28 (Fri.) to 7/1 (Mon.)
    Water leakage from the clean room ceiling was confirmed.
    No problem in using the equipment has been found now that emergency measures have been taken.

    To perform repair work on the cooling water system, which is the cause of the problem,
    The cooling water supply will be stopped during the following date and time to repair the cooling water system.
    Therefore, equipment connected to the cooling water system will not be available during the following time.

    Shutdown period: July 3 (Wed.) 9:00~17:00

    Suspended equipment: Desktop Lamp Annealing, vacuum deposition equipment (Al only, general purpose), Parallel Plate RIE System, ECR,
    　　　　　　　　　　　constant temperature booth (for electron beam lithography equipment),Magnetron sputtering

停電とメンテナンスに伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(6/21-7/1)※6/27 追記（EB装置）

by Posted in 未分類
  • 6月22日(土)と23日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で利用停止となります。

    ・6月21日(金)12時～
    　クリーンルーム装置利用停止

    ・6月22日(土)～6月23日(日)
    　一斉停電（定期点検）

    ・6月24日(月)～年6月28日(金)
    　用力設備定期点検
    　※クリーンルーム空調、圧縮空気、窒素ガス発生装置、冷却水 等を保守
    　※各機器の停止期間は、１～２日を想定

    ・7月1日(月)12時～
    　クリーンルーム装置利用再開

    ※6/27(金)追記

    電子線描画装置に関して、当初の予定より立上げに日数がかかることが判明したため、
    利用再開を7月3日(水)12:00~に変更させていただきます。

    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

  • On June 22th (Sat) and 23th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・21　From 12 o’clock　Device use suspension
    · 22 – 23th: Simultaneous blackout
    · 24 – 28th: utility equipment maintenance inspection
    ・July　1st　From 12 o’clock　Device usage resume

    We will inform you again when there is an update of information.

電子描画装置メンテナンスのお知らせ(2/26-3/8)

by Posted in 未分類

  • 電子描画装置メンテナンスのお知らせ

    電子銃交換及びメンテナンスのため、
    下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。
    ご連絡が直前になり大変申し訳ありません。

    期間　：2023年2月26日(月)8:00　～　3月8日(金)17:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    For electron gun replacement and maintenance,
    the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

    A fixed date　:　 Monday, February 20, 8:00　 ～　Friday, March 8, 17:00

装置講習・技術相談問い合わせフォーム追加のお知らせ

by Posted in 未分類

  • 装置講習・技術相談問い合わせフォーム追加のお知らせ

    トップページに問い合わせフォームを追加しました。
    クリーンルーム利用時のトラブル報告については管理室メールアドレスにご連絡ください。

  • Notice of Addition of Inquiry Form for Equipment Training and Technical Consultation

    An inquiry form has been added to the top page.
    Please contact the management office email address for trouble reports when using RIE clean room.

年末年始におけるクリーンルーム利用停止のお知らせ(1/4追記_描画装置利用再開1/9~)

by Posted in 未分類

  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間：12月27日(水)12:00~1月5日(金)13:30

    電子描画装置については
    1月6日(土)12:00からの利用を再開します。

    (1/4追記)

    電子描画装置の調整のため、
    利用再開を1月9日(火)12:00に変更させていただきます。

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Wednesday,Dec 27, 12:00 ~ Friday, Jan 5, 13:30

    About Electron Beam Lithography System,
    you can use that from Saturday, Jan 6, 12:00

装置予約システム利用制限のお知らせ(10/19)

by Posted in 未分類

  • 装置予約システム利用制限のお知らせ(10/19)

    電研Webサーバー移行作業のため、
    下記の期間は装置予約システムの利用を控えていただくよう
    お願いいたします。

    移行作業期間：10/19(木)16:00-17:00

    ※期間中の予約入力は正常に反映されない可能性があります。

  • Notice of Restriction on Use of Equipment Reservation System (10/19)

    Due to the migration of Denken web server,
    Please refrain from using the equipment reservation system during the following period.

    Migration work period: 10/19 (Thu.) 16:00-17:00

    Please note that reservation entries may not be properly reflected during this period.