エリプソメーター使用停止のお知らせ(1/18-)(1/23追記)

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  • エリプソメーター使用停止のおしらせ

    トラブル：ハードウェアの初期化が行えず、立ち上がらない

    対応：メーカーへ修理依頼中
    停止期間：未定

    (1/23追記)1/25(水)メーカー修理作業予定

  • Stop using Ellipsometer(1/18-)

    Unable to perform hardware initialization

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer
    Stop period: undecided

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ(1/13-)(1/20追記)

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  • デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ

    トラブル：アプリケーションが立ち上がらない

    対応：メーカーへ問い合わせ対応
    停止期間：未定

    (1/20追記) 1/24(火)メーカー点検作業予定

  • Stop using Digital Microscope(1/13-)

    Corresponding: Application does not launch
    Stop period: undecided

年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ

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  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間：12月26日(月)12:00~1月5日(木)13:30

    電子描画装置については
    1月6日(金)12:00からの利用を再開します。

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Monday,Dec 26, 12:00 ~ Thursday, Jan 5, 13:30

    About Electron Beam Lithography System,
    you can use that from Friday, Jan 6, 12:00

スピンコーター利用停止のお知らせ(11/22-11/24)

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  • スピンコーター利用停止のおしらせ(4/20)

    スピンコーターの破損した上蓋修復作業のため、
    下記の日時で利用を停止いたします。

    停止期間：11月22日(火)9:00~11月24(木)17:00

  • Stop using Spincoater(11/22-11/24)

    Due to the replacement of the upper lid of spincoater
    Spincoater will be out of service on the following dates and times.

    Date: Tuesday, November 22, 9:00 ~ Thursday, November 24 17:00

ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ※注意事項あり

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  • ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ※注意事項あり

    真空度異常の復旧が終わりました。
    利用を再開いたします。

    部品交換の影響により、10.output controlの調整が難しくなっております。
    利用再開後初めて利用される方は必ず管理室立会いの上、確認をお願いいたします。

  • ECR　restoration

    The restoration of the vacuum anomaly has been completed.
    Use of the system will be resumed.

    Due to the replacement of parts, it is difficult to adjust the 10.output control.
    Please be sure to check the output control in the presence of the Management Office before using the room for the first time after the reopening.

電気炉利用停止のお知らせ(8/2)

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  • 電気炉利用停止のおしらせ(8/2)

    電気炉C,D電磁弁交換作業のため、
    下記の日時で電気炉の利用を停止いたします。

    停止期間：8月2日(火)8:00~19:00

  • Stop using Precision Diffusion Furnace(8/2)

    Due to the replacement of the solenoid valve of electric furnace C,D
    The electric furnace will be out of service on the following dates and times.

    Date: Tuesday, August 2, 8:00 ~19:00

メンテナンスに伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/26-9/6)

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  • 8月27日(土)と28日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・26日12時~ ：クリーンルーム装置利用停止
    ・27日28日　　　：停電日
    ・29日~30日　　：空調保守点検
    ・31日~9月2日 ：冷却水設備点検
    ・31日~9月2日　　 ：特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月6日12時　　 ：クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月6日（火）12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月7日(水)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

  • On August 27th (Sat) and 28th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・26　From 12 o’clock　Device use suspension
    · 27 – 28th: Simultaneous blackout
    · 29 – 30th: Air conditioning maintenance inspection
    · 31th – Sep 2nd: Cooling water Equipment Inspection
    · 31th – Sep 2nd: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・Sep　6th　From 12 o’clock　Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 6.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 7.
    We will inform you again when there is an update of information.

ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(6/30-未定: 7/15追記)

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  • ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

    ECRスパッタ装置内部の状態を鑑みて、
    装置の利用を停止いたします。

    停止期間：6/30(木)-7/8(金)

    7/4(月)以降に内部機器の洗浄を予定しております。
    装置が復旧次第利用再開する見込みです。

    7/12(火)追記：内部真空度が安定しないため利用停止期間を延長します。
    　　　　　 利用再開の際には再度ご連絡いたします。

    停止期間：6/30(木)-7/14(木)予定

    7/15(金)追記：改善が見られないため停止期間を未定とさせていただきます。
    　　　　　 復旧の際にはご連絡いたします。

    停止期間：6/30(木)- 未定

  • Stop using ECR

    Due to the replacement of Si target and cleaning of internal equipment,
    ECR sputtering equipment will not be available.

    A fixed date　:　 Tuesday, June 30 ～　Friday, July 8

ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(6/7-6/15)6/7追記

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  • ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

    Siターゲット交換及び内部機器洗浄作業のため、
    ECRスパッタ装置の利用を停止いたします。

    停止期間：6/7(火)-6/15(水)終日

    (6/7)追記：内部の状況を鑑みて利用を停止させていただきます。

  • Stop using ECR

    Due to the replacement of Si target and cleaning of internal equipment,
    ECR sputtering equipment will not be available.

    A fixed date　:　 Tuesday, June 7 ～　Wednesday, June 15